丰田合成环保车与功率半导体产品系列
丰田合成积极推广环保车,包含电动车与燃料电池车。mirai是丰田新推出的fcv,提供足够电力供应,自有生产sic功率半导体,可承受高开关频率,大输出电压为650v,透过motor电压提升,减少电池使用数量,也使得体积与重量更能大幅减轻,提升燃料电池使用效能。
三五族类比半导体的设备市场需求
因应功率半导体与微波通讯的市场需求,evatec推出溅镀与蒸镀设备机台。evatec为瑞士制造公司并于去年收购了欧瑞康半导体事业部门,其推出的溅镀与蒸镀机台用于功率半导体和无线宽带通讯的微波高科技领域中,evatec有强大的制程知识和全球大的市占率.设备主要讲求控制系统的度和稳定性,同时开发出4、6、8吋的平台供制造厂商使用。
设备优势上,拥有稳定生产力和低的总拥有成本。首先、此设备机台可以使用150mm(6吋基板)与160mm的载板,在客户使用弹性上大大升级。工艺条件上涵盖了tan-tfr与llift-off制程,不用拆分两个设备,节省了制造时间与机台设备空间。除此之外,独特可以调整靶材到基板(t-s)的距离,加上机台可以同时进行dc直流溅镀和rf射频磁控溅镀的操作,大大便利了制程工艺的调整。
主要膜层tan的均匀性,为正负2%,同时tcr<100ppm/k;stress<正负200mpa;产能40–60wph。tiw/au产能30–45wph并保证基板温度小于90度c这都归功于独特的动态镀膜方式和主动式冷却方案。
目前使用客户包含主要欧美国际厂商,看好中国功率半导体(power device)与无线通信的微波(rf device)设备市场,evatec将大幅增加市场销售布局。
公司网站:联系电话梁生
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